通过独有的驱动构造，实现高精度且流畅的动作。

・单手臂双手
・Z轴行程范围：0～470mm
・End Effector类型：真空吸附/边缘夹持
・对应晶圆尺寸：8英寸、12英寸
・对应FOUP数：最多3FOUP