晶圆搬运

晶圆搬运

晶圆搬运是半导体制造装置的前工序中的一道重要工序,尤其需要高精度和高速度。川崎的晶圆搬运机器人可以提供高品质、高性能的洁净机器人,市场占有率在全球名列前茅。

晶圆搬运的机器人

中小型通用机器人 〜80kg负载

中小型通用机器人 〜80kg负载

可搬运3~80kg物品的小型、中型通用机器人。

大型通用机器人 〜300kg负载

大型通用机器人 〜300kg负载

可搬运100~300kg重物的大型通用机器人。

超大型通用机器人 〜1500kg负载

超大型通用机器人 〜1500kg负载

可搬运300kg以上重物的超大型通用机器人。

协作机器人

协作机器人

由川崎独立开发的、可以与人类共存、共同工作的双臂水平多关节机器人。

码垛机器人

码垛机器人

对物流行业以及工厂内物流有所贡献的机器人。

高速分拣机器人

高速分拣机器人

高速抓取小型零部件和食品并进行分类的机器人。

医药机器人

医药机器人

实现制药和新药研发现场高效化作业的机器人。

焊接/切割机器人

焊接/切割机器人

负责电弧焊接作业的机器人。

喷涂机器人

喷涂机器人

从小型零部件到大型车身都可以完成涂装的机器人。

晶圆搬运机器人

晶圆搬运机器人

在半导体制造装置的重要工序中负责搬运晶圆的机器人。

涂胶机器人

涂胶机器人

应用于涂胶作业的机器人